要提高X射線測厚儀的精度，可以考慮以下幾個方面：

1.       選擇合適的X射線源和探測器：X射線源的能量和探測器的靈敏度對測量精度有重要影響。選擇能量適當的X射線源和靈敏度高的探測器，可以提高測量的準確性。

2.       校準和校驗：定期進行儀器的校準和校驗，確保測量結果與實際厚度一致。校準和校驗可以通過使用標準樣品進行比對，或者參考國際標準和規范進行驗證。

3.       適當的樣品準備：樣品的準備對測量結果也有影響。確保樣品表面平整、無污染和無氧化物等問題，可以提高測量的精度。

4.       儀器操作技巧：熟練掌握儀器的操作技巧，遵循正確的測量步驟和操作規范，可以減少操作誤差，提高測量的精度。

5.       數據處理和分析：正確處理和分析測量數據，采用合適的算法和模型，可以提高測量結果的準確性。

6.       儀器維護和保養：定期進行儀器的維護和保養，保持儀器的正常工作狀態，避免儀器的性能下降影響測量精度。

需要注意的是，X射線測厚儀的精度受到多種因素的影響，包括儀器本身的性能、樣品的特性和測量環境等。因此，在實際應用中，還需要綜合考慮各種因素，以達到的測量精度。