真空傳感器用于測量真空或低于大氣壓的壓力。真空是指低于大氣壓的壓力。由于永遠無法達到真正的真空，因此測量是關(guān)于幾乎沒有氣壓的。可以使用傳統(tǒng)的壓力傳感器測量真空；然而，由于信噪比差，它們通常無法解析極低濃度的氣體。真空傳感器依賴于氣體分子的物理特性，這些物理特性與每體積空間中此類分子的數(shù)量有關(guān)。

　　真空傳感器設(shè)計:

　　在真空范圍內(nèi)工作的傳感器使用某種物理位移或材料特性變化來進行測量。中高真空傳感器利用環(huán)境特性（例如熱導率和電離）進行測量。

　?。?）低真空

　　低真空度可以使用機械方法來測量，例如下面列出的那些。

　　活塞技術(shù)使用密封的活塞/氣缸來測量壓力變化。機械偏轉(zhuǎn)使用彈性或柔性元件隨著壓力的變化而機械偏轉(zhuǎn)，例如隔膜、波登管或波紋管。

　　壓電壓力傳感器測量動態(tài)和準靜態(tài)壓力。雙向換能器由具有天然電特性的金屬化石英或陶瓷材料組成。它們能夠?qū)毫D(zhuǎn)化為電勢，反之亦然。

　　微機電系統(tǒng)(MEMS)通常是通過硅表面微加工制造的微型系統(tǒng)，用于非常小的工業(yè)或生物系統(tǒng)。

　　振動元件（硅共振）使用振動元件技術(shù)，例如硅共振。

　　可變電容壓力儀表使用膜片元件運動產(chǎn)生的電容變化來測量壓力。該設(shè)備使用薄隔膜作為電容器的一個極板。施加的壓力導致膜片偏轉(zhuǎn)并且電容發(fā)生變化。膜片的偏轉(zhuǎn)會導致電容發(fā)生變化，該變化由橋式電路檢測到。板之間具有真空的電容式壓力傳感器非常適合通過保持材料的介電常數(shù)來防止錯誤。

　　應(yīng)變計（應(yīng)變敏感可變電阻器）與結(jié)構(gòu)的部分粘合，這些部分會隨著壓力的變化而變形。應(yīng)變計堅固、準確、穩(wěn)定，可以在劇烈的沖擊和振動環(huán)境以及各種壓力介質(zhì)中運行。應(yīng)變計壓力傳感器有幾種不同的種類：粘合應(yīng)變計、濺射應(yīng)變計和半導體應(yīng)變計。

　　半導體壓阻式傳感器基于半導體技術(shù)。電阻的變化不僅是因為長度和寬度的變化（就像應(yīng)變計一樣），而且是因為電阻器內(nèi)的電荷轉(zhuǎn)移。傳感器上的圖表區(qū)域內(nèi)有四個壓敏電阻器連接到一個元件電橋。當膜片偏轉(zhuǎn)時，兩個電阻器承受切向應(yīng)力，兩個承受徑向應(yīng)力。

　　（2）中-高真空

　　在中高真空下，使用熱和分子設(shè)備測量真空更為準確。

　　導熱系數(shù)-使用皮拉尼計測量氣體的熱導率。它是一個簡單的設(shè)備，包含一個加熱板并測量該板所損失的熱量。熱量損失的數(shù)量取決于氣體壓力。皮拉尼壓力計有幾種設(shè)計。一種設(shè)計包括使用具有不同溫度的兩個板。用于加熱的功率量是氣體壓力的量度。另一種設(shè)計使用單個板通過對周圍區(qū)域的熱損失來測量氣體的熱導率。下圖中的儀表使用熱平衡技術(shù)，將傳感室分成兩部分，在一個部分填充參考壓力的氣體，另一個部分連接到正在測量的真空。每個腔室的尺寸、形狀和結(jié)構(gòu)都相同，并包含一個加熱板。

　　電離計使用離子的真空計類似于真空管。離子電流和燈絲之間的關(guān)系是分子密度（壓力）的近似線性函數(shù)。工作原理與真空管規(guī)相同。然而，板被網(wǎng)格包圍的導線取代，而陰極燈絲在外面。有兩種類型可供選擇：熱陰極和冷陰極。這兩種類型的主要區(qū)別在于它們的電子產(chǎn)生方法。冷陰極器件通過高電位場從電極表面吸取電子。