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近日，德國弗勞恩霍夫IPMS(Fraunhofer IPMS)展示了基于新型高集成512 x 320微鏡陣列空間光調(diào)制器。
德國弗勞恩霍夫IPMS(Fraunhofer IPMS)研究所是全球領先的電子和光子微系統(tǒng)研發(fā)機構，服務于工業(yè)、醫(yī)療和移動應用領域，致力于推動高精度光學技術，以滿足半導體行業(yè)及其他領域日益增長的微型化和復雜性需求。
其空間光調(diào)制器配備了定制的傾斜和活塞鏡系統(tǒng)，已成為半導體技術中的重要組成部分。
這些尖端解決方案具有革命性潛力，可在材料加工、3D全息顯示和生物醫(yī)學成像等領域產(chǎn)生重大影響，尤其是在納米級精度和高速編程至關重要的應用中。
空間光調(diào)制器由數(shù)百萬個微鏡組成，集成在單一的半導體芯片上。微小的鏡子形成一個微鏡陣列，根據(jù)鏡子的類型，這些鏡子可以沿一個或兩個軸傾斜，或者單獨下拉。通過這種方式，它們可以控制和調(diào)節(jié)光的方向、強度或相位。這些空間光調(diào)制器適用于各種廣泛的應用。
1軸傾斜鏡使得可以生成光學圖案以及對表面進行結構化照明。灰度圖案投影廣泛應用于微光刻技術中，用于將圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。紫外光(UV)和深紫外光(DUV)范圍內(nèi)的光調(diào)制是弗勞恩霍夫IPMS的專長。此外，1軸傾斜鏡設備還可以實現(xiàn)可編程顯微鏡照明，適用于對敏感生物樣本進行無損檢測。
空間光調(diào)制器可以將廣泛的光束集中成強激光點。2軸傾斜鏡將入射光重定向為多個光束，并以最小的光損失精確控制它們的方向。因此，它們非常適合需要高光強或高效率的應用，如激光打孔或激光雕刻。
活塞鏡陣列能夠?qū)崟r生成全息3D圖像，它們是實現(xiàn)真正全息3D抬頭顯示的關鍵組件。高精度活塞鏡技術還在自適應光學或光學鑷子等領域提供了潛在的應用。
為了實現(xiàn)系統(tǒng)的技術轉(zhuǎn)移到實際應用中，弗勞恩霍夫IPMS提供了客戶評估套件，配備64k(256x256)微鏡陣列，包括傾斜鏡或活塞鏡陣列。
除了微鏡芯片外，弗勞恩霍夫IPMS套件還包括控制電子設備和軟件。此外，還提供客戶支持服務。
浙公網(wǎng)安備 33010602000006號
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