壓電材料電場應(yīng)變特性的測試儀薄膜壓電測試

華測儀器新推出的微型激光測振傳感器,激光測振儀是一種小型激光傳感平臺，將這兩種主流的傳感功能結(jié)合在一個光學(xué)平臺上，可實(shí)現(xiàn)位移測量和振動測量等多種功能， 激光測振儀在保持高的精度的測量同時還極大降低了模塊尺寸和成本。微型激光測振傳感器/激光測振儀產(chǎn)品性能方面覆蓋從低頻到高頻甚至超聲測量領(lǐng)域DC~2.5MHz的頻率范圍相應(yīng)，較大測量速度20m/s，振幅分辨率20pm，頻率精度小于0.1%

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、無源化：無源化光纖光學(xué)頭設(shè)計，不存在有源電路。

2、便攜性：可固定于三腳架，配有為儀器定制的拉桿箱，方便攜帶

3、大量程：較大測量范圍可達(dá)到10m，較大測量速度可達(dá) 24.5m/s。

4、可定制：可根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程和頻率范圍，為客戶進(jìn)行定制。

5、個性化軟件：可根據(jù)客戶需求配備具有 實(shí)時評價測量結(jié)果、實(shí)時顯示變化趨勢等智能化功能的軟件。

6、非接觸式測量：可解決接觸式測量在實(shí)際應(yīng)用中受測量環(huán)境（高溫、 強(qiáng)磁、腐蝕性材質(zhì)等）影響而無法完成的測試。

7、完整的解決方案：包含了光學(xué)調(diào)試、電路去噪、信號處理、數(shù)據(jù)采集及軟件分析功能。

8、人眼安全：采用人眼安全的不可見紅外光作為測量光。

壓電材料電場應(yīng)變特性的測試儀薄膜壓電測試主要技術(shù)指標(biāo)：

鐵電分析儀

電壓范圍：0.1V ~ ±1000V（可調(diào)）

頻率范圍：0.01Hz ~ 1MHz

溫度范圍：-40°C ~ 300°C

數(shù)據(jù)采集速率：較高1000點(diǎn)/秒，確保高的精度的測量

10kV功率放大器

輸出電壓范圍：0 ~ 10KV 直流或峰值交流

輸出電流范圍：0 ~ 40mA 直流或峰值交流

輸入電壓范圍：0 - 10V 直流或峰值交流

輸入阻抗：25kΩ

直流電壓增益：1000V/V

直流電壓增益精度：優(yōu)于滿量程的0.2%

內(nèi)部電容：300pF (高壓輸出)

直流失調(diào)電壓：低于±2V

小信號帶寬 (-3dB)：DC 優(yōu)于10KHz

大信號帶寬(-3dB)：DC 優(yōu)于5KHz

輸出噪聲：低于40mV rms

激光測振儀

指示激光波長：636 nm

測量激光波長：1550 nm

工作距離：0.35 m ~ 10 m

小信號：10 kHz

較大測量速度：±24.5 m/s

位移范圍：±4900 mm

輸出電壓范圍：±10V

頻率范圍：DC～3MHz

采樣率：不低于15360000

薄膜材料測試裝置

塊體材料測試裝置

激光測振儀配合高低溫冷熱臺對壓電器件測量

1. 連接到Huace FE-3000鐵電分析儀上的激光測振儀可精確測量沉積在懸臂和膜上或沉積在基板上的壓電薄膜的壓電系數(shù)；

2. 鐵電測試系統(tǒng)與激光干涉儀相結(jié)合，在D33振動過程中可以達(dá)到0.2pA(0.02nm)分辨率；

3. 高低溫冷熱臺可以添加到薄膜壓電測試套件中，可以在單個樣品在 -196℃至 600℃的溫度中進(jìn)行測量。

激光測振儀配合懸臂梁測量對薄膜應(yīng)變測量

激光測振儀與薄膜壓電測試(E31)相結(jié)合，可測量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31、D31和E33)。 應(yīng)用場景：壓電疲勞、壓電老化、過程監(jiān)控。