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iH系列半導體真空泵
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優勢
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒
堆積，從而降低了總體占地面積。
技術數據
iH80 iH160 iH600 iH1000 iH1800 峰值速度 103 m3h-1 165 m3h-1 600 m3h-1 1000 m3h-1 1800 m3h-1 61 cfm 97 cfm 353 cfm 589 cfm 1060 cfm 1717 l min-1 2750 l min-1 10000 l min-1 16670 l min-1 30000 l min-1 極限真空 1 x 10-2 mbar 1 x 10-2 mbar 7 x 10-4 mbar 1 x 10-3 mbar 1 x 10-3 mbar 7.5 x 10-3 Torr 7.5 x 10-3 Torr 5.3 x 10-4 Torr 7.5 x 10-4 Torr 7.5 x 10-4 Torr 1 Pa 1 Pa 0.07 Pa 0.1 Pa 0.1 Pa 典型軸封氮流量 4 slm 4 slm 4 slm 4 slm 4 slm 進氣口連接 ISO63 ISO63 ISO100 ISO100 ISO160 出口連接 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 120 l h-1 120 l h-1 240 l h-1 240 l h-1 240 l h-1 2 l min-1 2 l min-1 4 l min-1 4 l min-1 4 l min-1 重量 240 kg 244 kg 415 kg 430 kg 502 kg 極限功率輸入 2.7 kW 3.1 kW 3.4 kW 3.8 kW 4.1 kW 電機額定功率 3.5 kW 5.0 kW 6.1 kW 6.1 kW 7.0 kW 油容量 0.7 l 0.85 l 1.43 l 1.48 l 1.6 l
