一、簡介

傳統雙頻激光干涉儀（Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series，TDI）采用傳統的空間光傳輸，分辨率可達0.077nm，它具有*的測量性能以及實時閉環反饋功能，主要應用于亞納米精密測量領域。

上海拍頻光電科技有限公司自主開發的傳統雙頻激光干涉儀系統，主要特點如下：

?支持位移、速度、角度測量

?采用平鏡干涉儀測量，達到4倍光學細分

?具有高數據采樣率，支持位移和速度的實時閉環反饋

?采用雙頻干涉技術，抗力強，易進行多軸擴展，測量結果噪聲低

?單塊數字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量，并支持多處理器級聯

二、系統構成

傳統雙頻激光干涉儀的主要架構如下圖所示。

傳統雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調底座、導光元件、導光元件可調底座、光纖耦合器、光纖、信號處理卡等部件組成。

三、性能參數

上海拍頻光電科技有限公司研發的傳統雙頻激光干涉儀，主要系統參數如下表：

備注：可定制VPX通訊接口，可定制更高測量分辨率。